Trimethylgermanium chloride ใช้เป็นหลักในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในฐานะสารตั้งต้นสำหรับการสะสมฟิล์มบางที่ประกอบด้วยเจอร์เมเนียม ชั้นฟิล์มเหล่านี้มีความสำคัญในการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง เช่น ทรานซิสเตอร์และเซลล์สุริยะ เนื่องจากมีคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม นอกจากนี้ ยังทำหน้าที่เป็นสารเคมีหลักในเคมีออร์กาโนเมทัลลิกสำหรับการสังเคราะห์สารประกอบเจอร์เมเนียมต่างๆ ซึ่งถูกสำรวจเพื่อศักยภาพในด้านการเร่งปฏิกิริยาและวิทยาศาสตร์วัสดุ บทบาทของมันในกระบวนการ deposition ไอระเหยทางเคมี (CVD) มีความสำคัญเป็นพิเศษ โดยช่วยในการผลิตชั้นเจอร์เมเนียมความบริสุทธิ์สูงที่สำคัญสำหรับการประยุกต์ใช้ optoelectronic