สารนี้ใช้หลักในการผลิตวัสดุขั้นสูง โดยเฉพาะในด้านเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ ทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นสำหรับการสะสมฟิล์มบางของซิลิกอนไนไตรด์ ซึ่งจำเป็นสำหรับชั้นฉนวนในอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ การประยุกต์ใช้ขยายไปถึงการผลิตเคลือบผิวที่เพิ่มความทนทานและประสิทธิภาพของส่วนประกอบทางแสง นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์โพลิเมอร์ฐานซิลิกอน ซึ่งมีส่วนช่วยในการพัฒนาวัสดุที่ทนความร้อนและเสถียรทางเคมี บทบาทของมันในอุตสาหกรรมไฮเทคเหล่านี้เน้นย้ำถึงความสำคัญในกระบวนการผลิตสมัยใหม่และวิทยาศาสตร์วัสดุ