ใช้ในการผลิตฟิล์มบางสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และอุปกรณ์ทางแสง โดยทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการ deposition ด้วยไอสารเคมี (CVD) และ deposition ชั้นอะตอม (ALD) นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์เซรามิกขั้นสูงและสารเคลือบ เพื่อเพิ่มความเสถียรทางความร้อนและเคมี นอกจากนี้ยังมีบทบาทในฐานะตัวเร่งปฏิกิริยาสำหรับปฏิกิริยาอินทรีย์ โดยเฉพาะกระบวนการพอลิเมอไรเซชัน การประยุกต์ใช้ในเทคโนโลยีนาโนมีนัยสำคัญในการสร้างวัสดุที่มีโครงสร้างนาโนด้วยคุณสมบัติที่ปรับแต่งได้