ใช้ในการสังเคราะห์วัสดุขั้นสูง โดยเฉพาะในการผลิตฟิล์มบางสำหรับการใช้งานทางแสงและอิเล็กทรอนิกส์ ทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการ deposition ด้วยไอระเหยเคมี (CVD) และ deposition ชั้นอะตอม (ALD) ซึ่งช่วยในการสร้างชั้นเคลือบคุณภาพสูงที่มีคุณสมบัติทางแม่เหล็กและเรืองแสงเฉพาะ นอกจากนี้ยังใช้ในการวิจัยและพัฒนาแคทาลิสต์ใหม่และนาโนวัสดุ สนับสนุนนวัตกรรมในสาขาการเก็บพลังงานและโฟโตนิกส์ บทบาทในการสร้างวัสดุเฉพาะทางทำให้มีคุณค่าในอุตสาหกรรมที่มุ่งเน้นเทคโนโลยีล้ำสมัย