ใช้เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการสะสมไอทางเคมี (CVD) เพื่อผลิตฟิล์มบางของออกไซด์เหล็ก ซึ่งจำเป็นสำหรับการผลิตอุปกรณ์จัดเก็บข้อมูลแบบแม่เหล็กและเซ็นเซอร์ นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะในปฏิกิริยาออกซิเดชัน เนื่องจากความเสถียรและประสิทธิภาพของมัน นอกจากนี้ยังนำไปใช้ในการพัฒนาวัสดุขั้นสูงสำหรับอิเล็กทรอนิกส์และออปติกส์ ซึ่งต้องการการควบคุมองค์ประกอบและโครงสร้างของฟิล์มอย่างแม่นยำ ความดันไอสูงและความเสถียรทางความร้อนทำให้เหมาะสมสำหรับการใช้งานในนาโนเทคโนโลยีและไมโครอิเล็กทรอนิกส์