ใช้เป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิกาเจลและวัสดุซิลิกาชนิดต่าง ๆ เนื่องจากสามารถเกิดปฏิกิริยาไฮโดรไลซิสได้ง่าย นำไปใช้ในอุตสาหกรรมเคลือบผิวเพื่อสร้างชั้นป้องกันหรือปรับปรุงคุณสมบัติของพื้นผิว ใช้ในกระบวนการผลิตแก้วและเซรามิกเพื่อเพิ่มความแข็งแรงและความทนทาน เป็นส่วนประกอบสำคัญในสารเคลือบหล่อลื่นและสารป้องกันการกัดกร่อน ใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อสร้างชั้นฉนวนหรือชั้นป้องกันบนชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ยังใช้ในงานวิจัยและพัฒนาวัสดุนาโนเพื่อปรับปรุงคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีของวัสดุ