ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์ซิลิโคนและสารประกอบออร์กาโนซิลิคอน โดยทำหน้าที่เป็นตัวทำให้เกิดการเชื่อมโยงข้าม (cross-linking agent) ในกระบวนการผลิตโพลีเมอร์ที่มีความทนทานต่ออุณหภูมิสูงและความชื้น นิยมใช้ในงานเคลือบผิว วัสดุกันน้ำ และการผลิตสารต้านการเกาะติด นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวทำให้บริสุทธิ์หรือตัวเร่งปฏิกิริยาในสังเคราะห์อินทรีย์บางประเภท โดยเฉพาะในขั้นตอนที่ต้องการควบคุมการเกิดพันธะซิลิคอน-คาร์บอน