ใช้เป็นสารตั้งต้นหลักในการสังเคราะห์โพลิเมอร์และสารเคลือบที่ขึ้นอยู่กับซิลิคอน โดยเฉพาะในการผลิตเรซินซิลิโคนที่มีความเสถียรทางความร้อนและการออกซิเดชันที่เพิ่มขึ้น กลุ่มฟังก์ชันไวนิลและซิลาซานของมันช่วยให้เกิดปฏิกิริยาการเชื่อมขวาง ทำให้มีคุณค่ากในการสร้างฟิล์มป้องกันและสารห่อหุ้มสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการ deposition ไอระเหยเพื่อสร้างฟิล์มบางคล้ายซิลิคอนไนไตรด์ ซึ่งทำหน้าที่เป็นชั้นไดอิเล็กทริกหรือตัวกั้นการแพร่กระจายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ความตอบสนองของสารนี้สนับสนุนการใช้ในการปรับเปลี่ยนพื้นผิวเพื่อปรับปรุงการยึดเกาะและความต้านทานความชื้นในวัสดุขั้นสูง