ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์โพลิเมอร์และเซรามิกที่ใช้ซิลิคอนเป็นฐาน โดยเฉพาะในการผลิตซิลิคอนคาร์ไบด์ที่อุณหภูมิสูง ทำหน้าที่เป็นสารเคมีในเคมีออร์กาโนซิลิคอนเนื่องจากโครงสร้างวงแหวนที่เสถียร ซึ่งช่วยให้เกิดปฏิกิริยาเปิดวงแหวนที่ควบคุมได้ นอกจากนี้ยังใช้ในการพัฒนาการเคลือบพิเศษและฟิล์มบางผ่านกระบวนการการสะสมไอสารเคมี (CVD) ซึ่งช่วยในการก่อตัวชั้นที่อุดมด้วยซิลิคอนที่มีความเสถียรทางความร้อน คุณสมบัติการระเหยและการย่อยสลายทางความร้อนทำให้เหมาะสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการวิจัยวัสดุขั้นสูง