ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบของซิลิคอน โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตวัสดุเซรามิกส์ที่มีความทนทานต่ออุณหภูมิสูง นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารเติมแต่งในกระบวนการเคลือบผิวเพื่อเพิ่มความต้านทานต่อการกัดกร่อน และช่วยปรับปรุงคุณสมบัติของฟิล์มบางในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ ยังพบการใช้งานในห้องปฏิบัติการวิจัยเพื่อศึกษาพฤติกรรมของสารอนินทรีย์และออร์แกนโอเมทัลลิก