ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์วัสดุซิลิโคนและโพลีเมอร์ที่มีโครงสร้างซิลิโคน-ไนโตรเจน โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตเซรามิกส์เชิงเทคนิคที่ทนต่ออุณหภูมิสูง เช่น เซรามิกส์ประเภท SiNC ที่ใช้ในชิ้นส่วนเครื่องยนต์หรือวัสดุทนความร้อน นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวทำให้เกิดการเคลือบผิว (precursor coating) บนพื้นผิวโลหะหรือเซรามิกส์ เพื่อเพิ่มความต้านทานต่อการกัดกร่อนและออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ยังสามารถนำไปใช้ในงานวิจัยด้านนาโนแมททีเรียลเพื่อสร้างโครงสร้างที่มีความพรุนและพื้นที่ผิวสูงสำหรับการเก็บพลังงานหรือตัวเร่งปฏิกิริยา