ใช้เป็นตัวทำให้เกิดซิลานิเลชัน (silylating agent) ในกระบวนการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะสำหรับการป้องกันหมู่ hydroxyl และ amino ในโมเลกุลที่ละเอียดอ่อน โครงสร้างที่ใหญ่ช่วยให้เกิดการป้องกันแบบ steric shielding เพิ่มความเลือกสรรในสารประกอบที่มีหลายฟังก์ชัน

นิยมใช้ในการเตรียมโพลีเมอร์และเรซินฐานซิลิคอน เพื่อปรับปรุงความคงตัวทางความร้อนและความต้านทานความชื้น นอกจากนี้ยังใช้ในการปรับเปลี่ยนพื้นผิวของซิลิกาและแก้วเพื่อเพิ่มความไฮโดรโฟบิก ทำให้มีประโยชน์ในสารเคลือบ กาว และอิเล็กทรอนิกส์ขนาดเล็ก

นิยมใช้ในกระบวนการเตรียมตัวอย่างก่อนวิเคราะห์ด้วยโครมาโทกราฟี เช่น GC หรือ HPLC เพื่อทำให้สารที่มีหมู่ -OH หรือ -COOH มีความคงตัวและระเหยได้ดีขึ้น

นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์โพลีเมอร์ซิลิโคนที่มีโครงสร้างเฉพาะ หรือเป็นตัวเร่งปฏิกิริยาในบางกระบวนการเคมีอินทรีย์ โดยเฉพาะที่ต้องการควบคุมความชื้นและความเป็นกรด-เบสของระบบ สามารถทำปฏิกิริยากับความชื้นได้ง่าย จึงต้องจัดการภายใต้สภาวะไร้น้ำ