ใช้เป็นสารสไลเลติงเอเจนต์ (silylating agent) ในกระบวนการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะในการเตรียมสารประกอบที่มีซิลิคอนสำหรับเภสัชกรรมและเกษตรเคมี ทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นสำคัญในการสังเคราะห์สารคัปปลิ้งซิเลน (silane coupling agents) ซึ่งช่วยเพิ่มการยึดเกาะระหว่างวัสดุอินทรีย์และอนินทรีย์ในสารเคลือบ กาว และคอมโพสิต ความสามารถในการทำปฏิกิริยาทำให้มีคุณค่าต่อกระบวนการ deposition ไอระเหยสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยมีส่วนช่วยในการรูปร่างฟิล์มบางที่เป็นฐานซิลิคอน เช่น การเคลือบฟิล์มซิลิคอนคาร์ไบด์หรือซิลิคอนไนไตรด์ด้วยกระบวนการ CVD (Chemical Vapor Deposition) เนื่องจากมีความสามารถในการสลายตัวที่อุณหภูมิปานกลางและให้ผลผลิตฟิล์มบางที่มีความบริสุทธิ์สูง นิยมใช้ในขั้นตอนการผลิตชิปอิเล็กทรอนิกส์และอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการชั้นฉนวนหรือชั้นกันการแพร่ของโลหะ นอกจากนี้ ยังใช้ในการผลิตซิลิโคนพิเศษที่มีความเสถียรทางความร้อนและการออกซิเดชันสูงสำหรับใช้ในวัสดุประสิทธิภาพสูง และเป็นตัวทำปฏิกิริยาในสังเคราะห์สารประกอบออร์แกนโอซิลิคอนที่ซับซ้อนในห้องปฏิบัติการวิจัย