ใช้อย่างแพร่หลายในกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) สำหรับการผลิตฟิล์มบางของรูเทเนียม ซึ่งทำหน้าที่เป็นวัสดุอิเล็กโทรดขั้นสูงในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ความสามารถในการระเหยและความเสถียรทางความร้อนทำให้เหมาะสมสำหรับการสะสมชั้นรูเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงและนำไฟฟ้าในไมโครอิเล็กทรอนิกส์ โดยเฉพาะในหน่วยความจำแบบสุ่มเข้าถึงแบบไดนามิก (DRAM) และวงจรรวมอื่นๆ นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารตั้งต้นตัวเร่งปฏิกิริยาในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ รวมถึงปฏิกิริยาการไฮโดรเจนเนชันและการถ่ายโอนไฮโดรเจน แสดงประโยชน์ในการวิจัยทางวิชาการสำหรับการพัฒนาสารประกอบออร์กาโนเมทัลลิกใหม่และการศึกษากลไกปฏิกิริยาที่เกี่ยวข้องกับรูเทเนียม