ใช้เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการ deposition ไอระเหยทางเคมี (CVD) สำหรับการสะสมฟิล์มบางที่มีเซเรียม ฟิล์มเหล่านี้ถูกนำไปใช้ในระบบเร่งปฏิกิริยา โดยเฉพาะในตัวเร่งไอเสียยานยนต์และส่วนประกอบเซลล์เชื้อเพลิง เนื่องจากคุณสมบัติ redox ของเซเรียม นอกจากนี้ยังใช้ในการวิจัยสำหรับการสังเคราะห์ออกไซด์เซเรียมแบบนาโนสตรักเจอร์ที่มีพื้นที่ผิวสูง ซึ่งแสดงกิจกรรมที่เพิ่มขึ้นในการเกิดปฏิกิริยาออกซิเดชัน โครงสร้างออร์กาโนเมทัลลิกของมันช่วยให้สามารถย่อยสลายได้อย่างควบคุมที่อุณหภูมิปานกลาง ทำให้เหมาะสำหรับการ deposition ที่อุณหภูมิต่ำ