ใช้เป็นเครื่องกำเนิดกรดจากแสงที่มีประสิทธิภาพสูงในกระบวนการฟอโต้ลิโธกราฟีขั้นสูง โดยเฉพาะในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เมื่อได้รับแสง deep UV หรือ EUV จะปล่อยกรดโปรติกที่แรงซึ่งเร่งปฏิกิริยาเคมีในโฟโต้รีซิสต์ ทำให้สามารถสร้างลวดลายที่แม่นยำในวงจรไมโครอิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ยังใช้ในปฏิกิริยาพอลิเมอไรเซชันแบบแคติโอนิก โดยเริ่มต้นการเยื่อแข็งตัวของอีพ็อกซี่และไวนิลอีเทอร์ภายใต้การสัมผัสแสง ทำให้มีคุณค่าต่อการเคลือบ หมึก และกาว ความเสถียรทางความร้อนและความแรงของกรดสูงเมื่อถูกกระตุ้นทำให้เหมาะสำหรับระบบการถ่ายภาพประสิทธิภาพสูงและการสังเคราะห์พอลิเมอร์พิเศษ