(3-Chloropropyl)diphenylsulfonium Tetrafluoroborate เป็นสารเคมีที่ใช้อย่างแพร่หลายในกระบวนการโฟโตลิโทกราฟี (Photolithography) ซึ่งเป็นขั้นตอนสำคัญในการผลิตวงจรอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ สารนี้ทำหน้าที่เป็นสารเริ่มต้น (Photoacid generator) ที่เมื่อได้รับแสง UV จะปลดปล่อยกรดออกมา กรดที่ได้จะช่วยในการเปลี่ยนแปลงโครงสร้างของโฟโตเรซิสต์ (Photoresist) ทำให้เกิดรูปแบบที่ต้องการบนพื้นผิวของวัสดุ นอกจากนี้ยังสามารถใช้ในกระบวนการผลิตวัสดุที่มีความแม่นยำสูง เช่น การสร้างไมโครชิปและอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อื่น ๆ ที่ต้องการความละเอียดและความแม่นยำในการผลิต