ใช้เป็นเครื่องกำเนิดกรดจากแสง (photoacid generator) ในกระบวนการลิโธกราฟีขั้นสูง โดยเฉพาะในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เมื่อได้รับแสงอัลตราไวโอเลต จะปล่อยกรดที่แรงซึ่งเร่งปฏิกิริยาเคมีในวัสดุโฟโต้เรซิสต์ ทำให้สามารถสร้างลวดลายที่แม่นยำของส่วนประกอบไมโครอิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ยังใช้ในเคมีพอลิเมอร์เป็นสารเชื่อมขวางหรือตัวเริ่มปฏิกิริยาสำหรับโพลิเมอริเซชันแบบไคติโอนิก เนื่องจากความสามารถในการสร้างสปีชีส์กรดเมื่อได้รับการกระตุ้นด้วยความร้อนหรือแสง ความเสถียรในที่มืดและการปล่อยกรดอย่างรวดเร็วเมื่อได้รับแสงทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่ต้องการความละเอียดสูงและการตอบสนองที่ควบคุมได้