Tris(trimethylsilyl)phosphite ถูกใช้อย่างแพร่หลายเป็นสารเคมีช่วยในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะในการป้องกันกลุ่มไฮดรอกซิล มีประสิทธิภาพในการแปลงแอลกอฮอล์ให้เป็นเอเทอร์ไตรเมทิลซิลิลที่สอดคล้องกัน ซึ่งเป็นสารกลางที่เสถียรและสามารถถอดการป้องกันได้ง่ายในภายหลัง สารประกอบนี้ยังถูกนำมาใช้ในการสังเคราะห์สารประกอบออร์กาโนฟอสฟอรัส โดยทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบหลัก นอกจากนี้ ยังมีการประยุกต์ใช้ในการเตรียมเอสเทอร์ฟอสไฟต์ ซึ่งมีประโยชน์ในฐานะสารต้านอนุมูลอิสระและสารทำให้เสถียรในโพลิเมอร์และพลาสติก บทบาทในการอำนวยความสะดวกปฏิกิริยาฟอสโฟรีเลชันทำให้มีคุณค่าสำคัญในการพัฒนายาและสารเคมีเกษตร