ใช้เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการสะสมไอระเหยเคมีแบบโลหะอินทรีย์ (MOCVD) สำหรับการฝากฟิล์มบางที่มีส่วนของเออร์เบียม ฟิล์มเหล่านี้มีความสำคัญในการผลิตอุปกรณ์โฟโตนิก โดยเฉพาะในออปโตอิเล็กทรอนิกส์บนฐานซิลิกอน ซึ่งเออร์เบียมให้การเรืองแสงที่ 1.54 µm ความยาวคลื่นที่เหมาะสำหรับโทรคมนาคม ช่วยให้สามารถรวมส่วนประกอบที่ปล่อยแสงในวงจรเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังมีการวิจัยสำหรับใช้ในการผสมโด๊ป (doping) วัสดุผลึกและอะมอร์ฟัสเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพทางแสงในเลเซอร์และตัวขยายสัญญาณ ความเหินไหล (volatility) และความเสถียรทางความร้อนทำให้เหมาะสำหรับการเจริญเติบโตของฟิล์มที่มีความบริสุทธิ์สูงที่อุณหภูมิปานกลาง