ใช้เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการ metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) สำหรับการสะสมชั้นฟิล์มบางที่มีเจอร์เมเนียม ชั้นฟิล์มเหล่านี้มีความสำคัญในอุตสาหกรรมผลิตสารกึ่งตัวนำ โดยเฉพาะในเทคโนโลยีทรานซิสเตอร์ขั้นสูงและอุปกรณ์ optoelectronic คุณสมบัติการระเหยและการสลายตัวด้วยความร้อนทำให้เหมาะสมสำหรับการรวมเจอร์เมเนียมเข้าไปในแพลตฟอร์มที่ 기반บนซิลิคอน ซึ่งช่วยเพิ่มความเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอนในชิปประสิทธิภาพสูง นอกจากนี้ยังถูกสำรวจในการสังเคราะห์อนุภาคนาโนเจอร์เมเนียมและโครงสร้างนาโนสำหรับงานวิจัยในอิเล็กทรอนิกส์รุ่นถัดไปและโฟโตโวลตาอิก