ใช้เป็นหลักในงานวิจัยเป็นสารตั้งต้นสำหรับการสะสมฟิล์มบางที่มีธาตุเจอร์เมเนียมผ่านกระบวนการ chemical vapor deposition (CVD) กลุ่มเอทิลของมันช่วยเพิ่มความเหินไหล ทำให้สามารถทำการสะสมได้ที่อุณหภูมิต่ำกว่าเมื่อเทียบกับไฮไดรด์เจอร์เมเนียมแบบง่ายๆ ฟิล์มเหล่านี้มีความสำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะในการพัฒนาอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และโฟโตอิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง เนื่องจากความไวต่ออากาศและความชื้น การจัดการต้องทำในสภาวะบรรยากาศเฉื่อย ซึ่งจำกัดการใช้งานให้เฉพาะในงานเฉพาะทาง ไม่ค่อยใช้ในกระบวนการอุตสาหกรรมขนาดใหญ่เนื่องจากปัญหาความเสถียรและต้นทุน