ใช้ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์เป็นไดอิเล็กทริกชนิดหนาแน่นสูงในทรานซิสเตอร์ ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและลดการรั่วของกระแสไฟฟ้า นิยมใช้ในชิปคอมพิวเตอร์รุ่นใหม่ ๆ นอกจากนี้ยังใช้เป็นวัสดุเคลือบผิวที่ทนต่อความร้อนสูงและสารเคมีในอุตสาหกรรมการบินและอวกาศ รวมถึงใช้ในเลเซอร์และอุปกรณ์ออพติคัลที่ต้องการความแม่นยำสูง