1,2-Dichlorotetramethyldisilane ใช้หลักในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นสารตั้งต้นสำหรับกระบวนการ deposition ไอระเหยทางเคมี (CVD) เพื่อผลิตฟิล์มบางของวัสดุที่มีซิลิคอน นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์สารประกอบออร์แกโนซิลิคอน ซึ่งมีความสำคัญในการผลิตโพลิเมอร์และเรซินซิลิโคน นอกจากนี้ ยังทำหน้าที่เป็นสารกลางสำคัญในการผลิตสารเคมีพิเศษที่ใช้ในกระบวนการปรับสภาพพื้นผิวและสารเคลือบ เพื่อเพิ่มคุณสมบัติ เช่น การกันน้ำและความทนทาน บทบาทในการสร้างวัสดุฐานซิลิคอนความบริสุทธิ์สูงทำให้มีคุณค่าสำคัญในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูงและโฟโตโวลตาอิกส์