ใช้หลักๆ เป็นสารตัวทำให้เกิดซิลิลเลชัน (silylating agent) ในการวิเคราะห์ทางเคมี โดยเฉพาะก๊าซโครมาโทกราฟี (GC) และสเปกโทรเมตรีมวล (MS) มันแนะนำกลุ่มซิลิลให้กับหมู่ไฮดรอกซี อะมิโน และหมู่ฟังก์ชันอื่นๆ ที่มีไฮโดรเจนออกฤทธิ์ในโมเลกุลอินทรีย์อย่างมีประสิทธิภาพ ช่วยเพิ่มความระเหยและความเสถียรทางความร้อนเพื่อการแยกและตรวจจับด้วย GC ที่ดีขึ้น โครงสร้าง trifluoroacetamide ทำให้มีปฏิกิริยาเร็วกว่าสาร silylating มาตรฐาน อนุญาตให้ derivatization เร็วขึ้นภายใต้สภาวะอ่อนโยน ใช้บ่อยในการวิเคราะห์สเตียรอยด์ ยา และเมตาโบไลต์ในตัวอย่างชีวภาพ นอกจากนี้ยังมีประโยชน์ในการป้องกันหมู่ฟังก์ชันระหว่างการสังเคราะห์อินทรีย์หลายขั้นตอน เนื่องจากความเลือกและความง่ายในการกำจัดกลุ่ม diethylsilyl