ใช้หลักๆ เป็นสารทำอนุพันธ์ในการวิเคราะห์ด้วยก๊าซโครมาโทกราฟี (GC) และสเปกโทรเมทรีมวล (MS) สำหรับสารประกอบที่มีไฮโดรเจนที่ทำปฏิกิริยาได้ เช่น แอลกอฮอล์ ฟีนอล กรดคาร์บอกซิลิก และอะมีน โดยจะทำการซิลิเลตกลุ่มฟังก์ชันเหล่านี้ ทำให้เพิ่มความระเหยและความเสถียรทางความร้อน ซึ่งช่วยปรับปรุงการตรวจจับและการแยกในกระบวนการวิเคราะห์

ใช้กันทั่วไปในการทดสอบสิ่งแวดล้อม การวิเคราะห์เภสัชภัณฑ์ และเมตาโบโลมิกส์ เพื่อวิเคราะห์ส่วนผสมที่ซับซ้อน ความสามารถในการทำอนุพันธ์ของสารประกอบขั้วช่วยให้มีคุณค่าในการศึกษากลไกทางเมแทบอลิซึมและระบุตัวบ่งชี้ทางชีวภาพในตัวอย่างทางชีวภาพ นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์สารประกอบออร์กาโนซิลิคอนและเป็นสารทำปฏิกิริยาในเคมีอินทรีย์สำหรับปกป้องกลุ่มไฮดรอกซิลระหว่างปฏิกิริยา