Hexamethyl disilylamine (HMDS) ใช้อย่างแพร่หลายเป็นสารสไลเลติ้งเอเจนต์ในการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะสำหรับปกป้องกลุ่มฮีดรอกซิลในแอลกอฮอล์และฟีนอล มันจำเป็นในการผลิตโพลิเมอร์และเรซินที่ขึ้นอยู่กับซิลิกอน โดยทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นหรืออินเทอร์มีเดียท ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ HMDS ใช้เป็นสารส่งเสริมการยึดเกาะในกระบวนการโฟโตลิโธกราฟี เพื่อเพิ่มการยึดติดของวัสดุโฟโตเรซิสต์กับเวเฟอร์ซิลิกอน นอกจากนี้ ยังใช้เป็นตัวปรับเปลี่ยนพื้นผิวในนาโนเทคโนโลยี เพื่อปรับปรุงความกลัวน้ำของวัสดุ บทบาทของมันในกระบวนการสะสมเฟสก๊าซยังทำให้มีคุณค่ากในการผลิตฟิล์มบางและการเคลือบ