Hexamethyl disilylamine (HMDS) ใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เป็นสารเคลือบผิวเพื่อปรับผิวดาวน์สตรีมในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะในขั้นตอนการเคลือบโฟโตเรซิสต์ ช่วยเพิ่มการยึดเกาะของโฟโตเรซิสต์กับพื้นผิวซิลิคอน นอกจากนี้ยังใช้ในกระบวนการทางเคมีอื่นๆ เช่น เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิคอนและเป็นสารช่วยในการทำปฏิกิริยาในเคมีอินทรีย์ HMDS ยังถูกนำมาใช้ในห้องปฏิบัติการเพื่อปรับสภาพพื้นผิวแก้วหรือซิลิคอนก่อนการวิเคราะห์ด้วยเครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ เช่น SEM หรือ TEM เพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่แม่นยำและชัดเจนมากขึ้น