ใช้เป็นสารสไลลเลติงเอเจนต์ในการสังเคราะห์อินทรีย์เพื่อป้องกันหมู่ hydroxyl, carboxyl และ amino โดยแปลงให้เป็น trimethylsilyl ethers, esters หรือ silylamines การป้องกันนี้ย้อนกลับได้และช่วยให้หมู่ฟังก์ชันที่อ่อนไหวมีความเสถียรระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน

นิยมใช้ในการเตรียมอนุพันธ์สำหรับการวิเคราะห์ด้วยแก๊สโครมาโตกราฟี (GC) และสเปกโตรเมตรีมวล (MS) เพื่อเพิ่มความผันผวนและการตรวจจับของสารประกอบขั้ว

นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาในการสังเคราะห์โพลิเมอร์ฐานซิลิคอน และเป็นตัวดูดความชื้นในซิลิโคนซีลแลนต์และกาว

มีบทบาทในการผลิตยาและสารเคมีเกษตรที่ต้องการการป้องกันแบบเลือกสรร

นิยมใช้ร่วมกับเมทานอลหรือตัวทำละลายอื่นในการเตรียมตัวอย่างก่อนวิเคราะห์ด้วย GC โดยเฉพาะการวิเคราะห์กรดไขมันหรือสารที่มีหมู่ -OH เพื่อเพิ่มความสามารถในการกลายเป็นไอ

ยังใช้เป็นตัวทำให้แห้งในปฏิกิริยาบางชนิด เนื่องจากสามารถจับน้ำได้ดี โดยทำปฏิกิริยากับน้ำกลายเป็นซิลิโคนและไฮโดรเจนคลอไรด์