ใช้เป็นสารซิลิเลติ้งเอเจนต์ในการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะสำหรับการป้องกันหมู่ไฮดรอกซิลและอะมิโนในระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน ความใหญ่ของโครงสร้างแบบสเตอริกทำให้เลือกเฉพาะหมู่ฟังก์ชันที่ไม่ถูกขัดขวางมาก ซึ่งช่วยปรับปรุงความจำเพาะของปฏิกิริยา ใช้กันทั่วไปในการเตรียมยาและเคมีภัณฑ์ละเอียดที่ต้องการการควบคุมปฏิกิริยา นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารอนุพันธ์ในเคมีวิเคราะห์ เพื่อเพิ่มความผันผวนและความเสถียรทางความร้อนของสารประกอบขั้วสำหรับการวิเคราะห์ด้วยก๊าซโครมาโทกราฟีและสเปกโตรเมตรีมวล