สารเคมีนี้ใช้หลักเป็นสารตัวกลางแบบ reactive ในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะในการผลิตโพลิเมอร์และเรซินเฉพาะทาง มันทำหน้าที่เป็นสาร silylating agent ที่นำกลุ่ม trimethylsilyl เข้าสู่โมเลกุลอินทรีย์ ซึ่งช่วยเพิ่มความเสถียร ความละลาย หรือ reactivity ได้ นอกจากนี้ยังใช้ในการปรับปรุงพื้นผิว เพื่อสร้างชั้นเคลือบแบบ hydrophobic หรือปรับปรุงคุณสมบัติการยึดเกาะ ยังใช้ในการพัฒนาวัสดุขั้นสูง เช่น สารประกอบฐานซิลิโคน สำหรับการประยุกต์ในอิเล็กทรอนิกส์ ชั้นเคลือบ และกาว บทบาทในการทำปฏิกิริยาครอสลิงก์ทำให้มีคุณค่าในการสร้างวัสดุที่ทนทานและมีประสิทธิภาพสูง