ใช้หลักๆ เป็นสารยับยั้งเปลวไฟในโพลิเมอร์และพลาสติกต่างๆ เพื่อเพิ่มความต้านทานต่อไฟโดยไม่เปลี่ยนแปลงคุณสมบัติของวัสดุอย่างมีนัยสำคัญ นอกจากนี้ยังใช้ในการสังเคราะห์สารเคมีพิเศษ โดยทำหน้าที่เป็นสารซิลิเลติงเอเจนต์เพื่อนำกลุ่มไตรเมทิลซิลิลเข้าสู่โมเลกุลอินทรีย์ นอกจากนี้ยังใช้ในการผลิตสารหล่อลื่นและสารเคลือบ เพื่อให้ความเสถียรทางความร้อนและลดแรงเสียดทาน ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ใช้เป็นสารเคลือบป้องกันสำหรับส่วนประกอบที่ละเอียดอ่อน เพื่อปกป้องจากความชื้นและการออกซิเดชัน