ใช้เป็นตัวทำละลายหรือตัวกลางในกระบวนการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะในปฏิกิริยาที่ต้องการสภาพแวดล้อมที่ไม่มีน้ำ เนื่องจากมีความเสถียรและสามารถป้องกันการเกิดปฏิกิริยากับความชื้นได้ดี นิยมใช้ในงานผลิตสารประกอบซิลิคอนที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง เช่น วัสดุเคลือบผิว หรือสารตั้งต้นในการสร้างโพลีเมอร์ที่มีโครงสร้างซิลิเกต นอกจากนี้ยังใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์สำหรับการเตรียมฟิล์มบางที่มีส่วนผสมของซิลิกา โดยผ่านกระบวนการสลายตัวด้วยความร้อน (thermal decomposition) ที่อุณหภูมิสูง