ใช้เป็นสารซิลิเลติงเอเจนต์ในกระบวนการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะสำหรับการป้องกันหมู่ฮีดรอกซิลและคาร์บอกซิลในระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน หมู่เทอร์ต-บูทอกซีขนาดใหญ่ให้การป้องกันเชิงสเตอริก เพิ่มความเลือกและความเสถียรของสารกลาง นิยมใช้ในการเตรียมโมเลกุลซับซ้อน เช่น ยาและผลิตภัณฑ์จากธรรมชาติที่ต้องการการควบคุมปฏิกิริยาที่สำคัญ นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์พอลิเมอร์ฐานซิลิคอนและวัสดุพิเศษ เนื่องจากโครงสร้างไดซิเลนที่เสถียรและหมู่ซิลิลที่ทำปฏิกิริยาได้