ใช้เป็นสารซิลิเลติ้งเอเจนต์ในกระบวนการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะในการป้องกันหมู่ฮีดรอกซิลและอะมิโนระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน ความใหญ่ของโครงสร้างและคุณสมบัติอิเล็กตรอนอุดมสมบูรณ์ทำให้มีประสิทธิภาพในการแปลงหมู่ฟังก์ชันอย่างเลือกเฉพาะ โดยเฉพาะในอุตสาหกรรมเภสัชกรรมและเคมีภัณฑ์ละเอียด นอกจากนี้ยังใช้ในการเตรียมโพลิเมอร์ฐานซิลิคอนและเป็นสารกลางในการสังเคราะห์สารประกอบออร์แกนโอซิลิคอนที่ซับซ้อนมากขึ้นซึ่งใช้ในวิทยาศาสตร์วัสดุและอิเล็กทรอนิกส์