ใช้เป็นสารซิลิเลติงเอเจนต์ในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะสำหรับการป้องกันหมู่ฟังก์ชัน เช่น แอลกอฮอล์ อะมีน และกรดคาร์บอกซิลิก มีประสิทธิภาพในการนำหมู่ไตรเมทิลซิลิลเข้าไปในสภาวะอ่อนโยน เพิ่มความเหินลอยและความเสถียรทางความร้อนของสารประกอบ ซึ่งมีประโยชน์ในการโครมาโทกราฟีก๊าซและสเปกโทรเมตรีมวล นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาในการเตรียมอินเทอร์มีเดียตที่ถูกซิลิเลตอื่นๆ ในการสังเคราะห์เภสัชภัณฑ์และสารเคมีเกษตร ความเป็นนิวคลิโอไฟล์ต่ำและความสามารถในการเป็นกลุ่มออกที่ดีทำให้เหมาะสำหรับปฏิกิริยาที่เลือกเฉพาะในการประกอบโมเลกุลที่ซับซ้อน