ใช้เป็นตัวทำละลายประสิทธิภาพสูงและสารตั้งต้นในการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะในการผลิตวัสดุซิลิโคนขั้นสูง โครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์ให้ความเสถียรทางความร้อนยอดเยี่ยมและปฏิกิริยาต่ำ ทำให้เหมาะสำหรับใช้ในวัสดุอิเล็กทรอนิกส์ เช่น ไดโอดเปล่งแสงอินทรีย์ (OLEDs) และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ ยังทำหน้าที่เป็นสารปกป้องกลุ่มในการสังเคราะห์โมเลกุลซับซ้อน เนื่องจากความเสถียรของโครงสร้าง disilazane backbone นอกจากนี้ ยังใช้ในการพัฒนาเคลือบพิเศษและโพลิเมอร์ที่ต้องการความต้านทานต่อความร้อนและการเกิดออกซิเดชัน