เบนซิลอกซีไตรเมทิลซิลาน เป็นสารป้องกันที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในการสังเคราะห์อินทรีย์ โดยเฉพาะสำหรับกลุ่มไฮดรอกซิล (hydroxyl groups) มันป้องกันกลุ่มเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างปฏิกิริยาเคมีที่ซับซ้อน ช่วยให้สามารถทำการแปลงเฉพาะเจาะจงในส่วนอื่นของโมเลกุลได้ สารประกอบนี้ยังถูกนำมาใช้ในการเตรียมไซลีลอีเทอร์ (silyl ethers) ซึ่งเป็นสารตัวกลางในการสังเคราะห์ยาและสารเคมีละเอียด (fine chemicals) นอกจากนี้ ยังมีการประยุกต์ใช้ในการผลิตโพลิเมอร์พิเศษ (specialty polymers) และสารเคลือบผิว (coatings) โดยทำหน้าที่เป็นสารเชื่อมขวาง (cross-linking agent) เพื่อเพิ่มคุณสมบัติของวัสดุ ความเสถียรและปฏิกิริยาของมันทำให้เป็นเครื่องมือที่มีคุณค่าต่อกระบวนการผลิตเคมีขั้นสูง