ใช้เป็นสารซิลิเลติงเอเจนต์ (silylating agent) ในการสังเคราะห์อินทรีย์เพื่อนำกลุ่มไตรเมทิลซิลิล (trimethylsilyl groups) เข้าสู่โมเลกุล ซึ่งช่วยเพิ่มความเสถียรหรือความผันผวนสำหรับวัตถุประสงค์ทางวิเคราะห์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งมีประโยชน์ในการโครมาโทกราฟีก๊าซและสเปกโทรเมตรีมวลสำหรับการ derivatizing สารประกอบที่ยากต่อการวิเคราะห์ นอกจากนี้ยังมีบทบาทในการป้องกันกลุ่มฟังก์ชันระหว่างปฏิกิริยาเคมีที่ซับซ้อน เพื่อให้เกิดการแปลงที่เลือกสรร การประยุกต์ใช้ยังขยายไปถึงการปรับเปลี่ยนพื้นผิวและวัสดุ ซึ่งมอบคุณสมบัติเฉพาะเช่น ความกันน้ำหรือการยึดเกาะที่ดีขึ้น