ใช้หลัก ๆ เป็นสารซิลิเลติงเอเจนต์ (silylating agent) ในการสังเคราะห์อินทรีย์ ซึ่งช่วยในการนำกลุ่มปกป้องสำหรับหมู่ฮีดรอกซิลและอะมีน เพื่อเพิ่มความเลือกในการเกิดปฏิกิริยา ในการผลิตพอลิเมอร์ซิลิโคน มันทำหน้าที่เป็นสารกลางสำคัญ ช่วยปรับปรุงความเสถียรทางความร้อนและความต้านทานน้ำของวัสดุ นอกจากนี้ ยังมีบทบาทสำคัญในการปรับสภาพพื้นผิวของซิลิกาและวัสดุอนินทรีย์อื่น ๆ เพื่อเพิ่มความเข้ากันได้กับเมทริกซ์อินทรีย์ สารเคมีนี้ยังถูกใช้ในการผลิตกาวและยาแนว ซึ่งช่วยปรับปรุงคุณสมบัติการยึดเกาะและความทนทาน การประยุกต์ใช้ขยายไปถึงอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งใช้ในการสะสมฟิล์มบางและสารเคลือบ สนับสนุนประสิทธิภาพและอายุการใช้งานของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์