ใช้เป็นสารซิลิเลติง (silylating agent) ในการสังเคราะห์อินทรีย์เพื่อป้องกันกลุ่มไฮดรอกซิลและคาร์บอกซิลในระหว่างปฏิกิริยาที่ซับซ้อน มีคุณค่าอย่างยิ่งในการเตรียมสารกลางสำหรับยาและสารเคมีเกษตร สารนี้ยังนำไปใช้ในการสังเคราะห์โพลิเมอร์ที่มีซิลิคอน ซึ่งช่วยเพิ่มความเสถียรทางความร้อนและคุณสมบัติทางกล นอกจากนี้ ยังใช้ในการปรับเปลี่ยนพื้นผิวเพื่อปรับปรุงการยึดเกาะและความเข้ากันได้ในสารเคลือบและวัสดุคอมโพสิต บทบาทของมันในปฏิกิริยาครอส-คัปพลิงยังเน้นย้ำถึงประโยชน์ในการสร้างวัสดุขั้นสูงและเคมีภัณฑ์ละเอียด