ใช้เป็นสารซิลิเลติง (silylating agent) ในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ โดยเฉพาะสำหรับการป้องกันหมู่ฮีดรอกซิลและคาร์บอกซิลในระหว่างปฏิกิริยาหลายขั้นตอน ความใหญ่ของโครงสร้างสเตอร์ริกและหมู่เมทอกซีที่ให้อิเล็กตรอนช่วยเพิ่มความเลือกเฉพาะและความเสถียรภายใต้สภาวะปฏิกิริยาอ่อนๆ ใช้กันทั่วไปในการเตรียมสารกลางที่ละเอียดอ่อนในกระบวนการผลิตยาและสารเคมีเกษตร นอกจากนี้ยังใช้เป็นสารตั้งต้นในการสะสมฟิล์มบางที่เป็นฐานซิลิคอนในการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากความผันผวนและความเสถียรทางความร้อน