ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์โพลีเมอร์ซิลิโคนที่มีโครงสร้างพิเศษ โดยเฉพาะในงานผลิตวัสดุเคลือบผิวที่ต้องการความยืดหยุ่นและทนต่อสภาพอากาศ นิยมใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เพื่อทำสารเคลือบป้องกันแผงวงจร เพราะช่วยลดการซึมผ่านของความชื้นและเพิ่มความทนทานต่ออุณหภูมิสูง ยังใช้เป็นตัวเชื่อม (coupling agent) ในระบบเรซินเพื่อปรับปรุงการยึดติดระหว่างวัสดุอนินทรีย์กับอินทรีย์ เช่น แก้วกับพลาสติก นอกจากนี้ยังมีบทบาทในกระบวนการโพลีเมอไรเซชันที่ต้องการควบคุมโครงสร้างของซิลิโคนอย่างแม่นยำ