Diethylsilane ใช้หลัก ๆ ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นสารตั้งต้นสำหรับการสะสมฟิล์มบางที่มีส่วนประกอบของซิลิกอน มีบทบาทสำคัญในการผลิตวัสดุฐานซิลิกอน เช่น ซิลิคอนไนไตรด์และซิลิคอนคาร์ไบด์ ซึ่งจำเป็นสำหรับการผลิตวงจรรวมและส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์อื่น ๆ นอกจากนี้ ยังใช้ในการสังเคราะห์สารประกอบออร์แกโนซิลิกอน ซึ่งใช้อย่างแพร่หลายในสารเคลือบ กาว และยาแนว เนื่องจากความเสถียรทางความร้อนและการกันน้ำ ในสาขานาโนเทคโนโลยี Diethylsilane ใช้ในการสร้างวัสดุนาโนสตรักเจอร์ที่มีคุณสมบัติทางไฟฟ้าและกลไกเฉพาะ การประยุกต์ใช้ขยายไปถึงการพัฒนาวัสดุขั้นสูงสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์ เพิ่มประสิทธิภาพและความทนทาน นอกจากนี้ ยังทำหน้าที่เป็นสารรีดิวซ์ในปฏิกิริยาเคมีบางอย่าง สนับสนุนการผลิตโลหะและโลหะผสมความบริสุทธิ์สูง