สารเคมีนี้ใช้หลักในการผลิตวัสดุขั้นสูง โดยเฉพาะในสาขาเซรามิกและการเคลือบผิว ทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นสำหรับวัสดุฐานซิลิเซียมไนไตรด์ ซึ่งมีคุณค่าด้วยความเสถียรทางความร้อนสูง ความแข็งแรงทางกล และความต้านทานต่อการสึกหรอและการกัดกร่อน ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ใช้ในการผลิตฟิล์มบางและชั้นป้องกันสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและความทนทาน นอกจากนี้ ยังนำไปใช้ในการสังเคราะห์พอลิเมอร์และเรซินเฉพาะทาง สนับสนุนการพัฒนาวัสดุทนความร้อนและเฉื่อยทางเคมีสำหรับการใช้งานอุตสาหกรรม โครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์ โดยมีกลุ่มไวนิลและไซโคลไตรซิลาเซนที่สามารถเกิดปฏิกิริยาโพลิเมอไรเซชันได้ง่าย ยังทำให้เหมาะสำหรับการวิจัยและพัฒนาในนาโนเทคโนโลยี ช่วยในการสร้างนาโนโครงสร้างนวัตกรรมที่มีคุณสมบัติเฉพาะ นิยมนำไปใช้ในการเคลือบพื้นผิวเพื่อเพิ่มความทนทานและความเสถียรของวัสดุในสภาวะแวดล้อมที่หลากหลาย รวมถึงผลิตวัสดุฉนวนความร้อนและป้องกันความชื้น