ใช้ในอุตสาหกรรมผลิตซิลิคอนบริสุทธิ์สูงสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และแผงโซลาร์เซลล์ โดยทำปฏิกิริยากับไฮโดรเจนหรือไฮโดรเจนร้อนเพื่อให้ได้ซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูง นิยมใช้ในการผลิตไฟเบอร์ออปติก เนื่องจากสามารถเปลี่ยนเป็นซิลิกา (SiO₂) ได้เมื่อทำปฏิกิริยากับไอน้ำ ซึ่งเป็นวัสดุสำคัญในการผลิตเส้นใยแก้วนำแสง ใช้เป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิโคนต่าง ๆ เช่น ซิลิโคนออยล์ เรซิน และยางซิลิโคน ที่ใช้ในอุตสาหกรรมไฟฟ้า อิเล็กทรอนิกส์ และการแพทย์ ในบางกรณีใช้เป็นสารเคลือบผิวเพื่อป้องกันการกัดกร่อน โดยการสร้างชั้นฟิล์มซิลิกาบนพื้นผิวโลหะหรือวัสดุอื่น ๆ นอกจากนี้ยังใช้ในห้องปฏิบัติการเคมีอินทรีย์เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาหรือสารทำให้เกิดปฏิกิริยา (reagent) ในการสังเคราะห์สารบางชนิด