ใช้ในอุตสาหกรรมการผลิตซิลิคอนบริสุทธิ์สูงสำหรับการผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ เช่น ชิปและแผงวงจร โดยซิลิคอนเตตระคลอไรด์จะถูกเปลี่ยนสภาพผ่านกระบวนการรีดักชันด้วยไฮโดรเจนเพื่อให้ได้ซิลิคอนเกรดอิเล็กทรอนิกส์ นอกจากนี้ยังใช้ในการผลิตไฟเบอร์ออปติก เนื่องจากสามารถสร้างซิลิกาบริสุทธิ์สูงที่มีคุณสมบัติการส่งผ่านแสงได้ดีเยี่ยม ยังมีการใช้ในกระบวนการเคลือบผิววัสดุเพื่อเพิ่มความทนทานต่อความร้อนและสารเคมีอีกด้วย