ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการสังเคราะห์สารประกอบซิลิคอนที่มีเดอทีเรียม เพื่อใช้ในงานวิจัยด้านวัสดุศาสตร์และอิเล็กทรอนิกส์ โดยเฉพาะในกระบวนการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง รวมถึงใช้เป็นตัวทำให้เกิดปฏิกิริยารีดักชันในสังเคราะห์อินทรีย์ที่ต้องการควบคุมไอโซโทปอย่างแม่นยำ