ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิโคนและสารประกอบซิลิเกตที่มีคุณสมบัติทนต่อความร้อนและความชื้นสูง มักนำไปใช้เคลือบผิววัสดุเพื่อเพิ่มคุณสมบัติกันน้ำและลดการยึดติดของฝุ่น สิ่งสกปรก นิยมใช้ในกระบวนการผลิตวัสดุก่อสร้าง เซมิคอนดักเตอร์ และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการพื้นผิวที่มีความบริสุทธิ์และทนต่อสภาพแวดล้อม ยังสามารถใช้เป็นตัวเชื่อมระหว่างพื้นผิวกระจกกับโพลิเมอร์ในงานซ่อมแซมและผลิตภัณฑ์ที่ต้องการความแข็งแรงของการยึดติด