ใช้ในอุตสาหกรรมเคมีเป็นสารตั้งต้นในการผลิตซิลิโคนและสารประกอบซิลิคอนอินทรีย์ โดยทำหน้าที่เป็นตัวทำให้เกิดปฏิกิริยาเชื่อมโยงหรือการเคลือบผิววัสดุ เช่น กระจก โลหะ หรือพลาสติก เพื่อเพิ่มคุณสมบัติทนต่อความชื้นและความทนทานต่อสภาพแวดล้อม นิยมใช้ในกระบวนการผลิตสารเคลือบกันน้ำ ตัวประสานในวัสดุก่อสร้าง และในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อปรับปรุงการยึดติดของชั้นฟิล์มบาง นอกจากนี้ยังใช้เป็นตัวเร่งปฏิกิริยาหรือสารช่วยในการสังเคราะห์สารเคมีอื่นๆ